อธิบายการเกี่ยวกับการทำงานของ Vacuum pump ประเภท Turbo molecular vacuum pump

Turbo molecular vacuum pump

ปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกุล (Turbo molecular vacuum pump): ทำงานอย่างไร

ปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกุล เป็นปั๊มสุญญากาศชนิดหนึ่งที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมที่ต้องการสุญญากาศสูงมาก เช่น อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์, การเคลือบผิว และการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ โดยหลักการทำงานของปั๊มชนิดนี้แตกต่างจากปั๊มสุญญากาศแบบอื่นๆ ที่กล่าวมาข้างต้นอย่างสิ้นเชิง

หลักการทำงานโดยสรุป

ปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกุลทำงานโดยอาศัยหลักการถ่ายโอนโมเมนตัมจากใบพัดที่หมุนด้วยความเร็วสูงไปยังโมเลกุลของก๊าซ ทำให้โมเลกุลของก๊าซถูกเร่งให้เคลื่อนที่ไปในทิศทางเดียวกันและถูกดันออกจากห้องปั๊ม

การทำงานโดยละเอียด

• ใบพัดหมุนความเร็วสูง: ภายในปั๊มจะมีชุดใบพัดจำนวนมากที่ติดตั้งอยู่บนแกนหมุน ซึ่งหมุนด้วยความเร็วสูงมาก (หลายหมื่นรอบต่อนาที)
• การชนกันของโมเลกุล: เมื่อโมเลกุลของก๊าซเคลื่อนที่เข้ามาในห้องปั๊ม จะชนเข้ากับใบพัดที่หมุนอยู่ ทำให้โมเลกุลของก๊าซได้รับพลังงานและเปลี่ยนทิศทางการเคลื่อนที่
• การเคลื่อนที่ตามทิศทางเดียว: โมเลกุลของก๊าซที่ได้รับพลังงานจะถูกเร่งให้เคลื่อนที่ไปในทิศทางเดียวกันตามแนวรัศมีของใบพัด และถูกดันออกจากห้องปั๊มผ่านทางออกที่ออกแบบไว้
• ขั้นตอนการบีบอัด: ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลมักจะมีหลายขั้นตอน โดยแต่ละขั้นตอนจะทำหน้าที่บีบอัดโมเลกุลของก๊าซให้มีความหนาแน่นมากขึ้นก่อนที่จะถูกปล่อยออกไป

ข้อดีของปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกุล

• สร้างสุญญากาศได้สูงมาก: สามารถสร้างสุญญากาศได้ต่ำกว่า 10⁻⁹ Torr
• ไม่มีการใช้ของเหลว: ทำงานแบบแห้ง จึงไม่มีปัญหาเรื่องการปนเปื้อนของน้ำมัน
• ความเร็วในการสูบสูง: สามารถสูบอากาศออกจากระบบได้อย่างรวดเร็ว
• ความเสถียรสูง: สามารถรักษาสุญญากาศที่ได้ไว้นาน
• สามารถสูบไอน้ำได้: เหมาะสำหรับงานที่เกี่ยวข้องกับการระเหย

ข้อจำกัด

• ราคาสูง: มีราคาแพงกว่าปั๊มสุญญากาศชนิดอื่นๆ
• ต้องการปั๊มสำรอง: ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลจำเป็นต้องทำงานร่วมกับปั๊มสำรองชนิดอื่น เช่น ปั๊มโรตารีเพื่อสร้างสุญญากาศเบื้องต้น

การใช้งาน

ปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกุลถูกนำไปใช้ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น

• อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์: ใช้ในการผลิตชิปและวงจรรวม
• การเคลือบผิว: ใช้ในการเคลือบผิวโลหะและพลาสติก
• การวิจัยทางวิทยาศาสตร์: ใช้ในงานวิจัยที่ต้องการสุญญากาศสูง เช่น กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน เครื่องมือวัด Mass spectrometer

สรุป: ปั๊มสุญญากาศแบบเทอร์โบโมเลกุลเป็นปั๊มสุญญากาศที่มีประสิทธิภาพสูง เหมาะสำหรับงานที่ต้องการสุญญากาศระดับสูงและความสะอาด แม้จะมีราคาสูง แต่ประสิทธิภาพที่ได้นั้นคุ้มค่ากับการลงทุน

หากคุณมีคำถามเพิ่มเติมเกี่ยวกับปั๊มสุญญากาศชนิดนี้ หรือต้องการข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับการเลือกใช้ปั๊มสุญญากาศ สามารถสอบถามได้ที่ This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.